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產品分類?油旋片真空泵?
型號:VDN、PVD、VSN系列,GLD系列(高性能、低震動、低噪音)
特點:優化散熱設計,油位觀察窗便于監測油污染狀況
應用:真空鍍膜、分析儀器、半導體制造設備等35
?干式真空泵?
防腐涂層處理轉子軸與氣缸,增強耐腐蝕性
特殊轉子設計提升粉末排出性能
用途:半導體刻蝕/去膠設備、鋰電池電極干燥、醫療冷凍干燥等4
?MS系列螺桿泵?(如MS600A):
?多重密封結構?
通過導氣槽設計引導氣流,防止真空腔內雜質磨損轉軸及齒輪,提升密封性1。
?真空檢漏裝置?
結合氮氣源與真空計檢測壓力回升值,通過算法精準判斷工件泄漏,提高檢測效率2。
?半導體制造?:刻蝕設備、等離子清洗設備真空排氣4
?新能源?:鋰電池注液、電極干燥工藝4
?工業設備?:真空熱處理爐、真空干燥系統
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