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    廠家指定一級代理!!ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵MS1200A

    更新時(shí)間:2025-08-15      瀏覽次數(shù):52

     

    一、核心產(chǎn)品系列

    1. ?油旋片真空泵?

      • 型號:VDN、PVD、VSN系列,GLD系列(高性能、低震動、低噪音)

      • 特點(diǎn):優(yōu)化散熱設(shè)計(jì),油位觀察窗便于監(jiān)測油污染狀況

      • 應(yīng)用:真空鍍膜、分析儀器、半導(dǎo)體制造設(shè)備等35

    2. ?干式真空泵?

      • 防腐涂層處理轉(zhuǎn)子軸與氣缸,增強(qiáng)耐腐蝕性

      • 特殊轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)提升粉末排出性能

      • 用途:半導(dǎo)體刻蝕/去膠設(shè)備、鋰電池電極干燥、醫(yī)療冷凍干燥等4

      • ?MS系列螺桿泵?(如MS600A):

    二、創(chuàng)新 技術(shù)

    1. ?多重密封結(jié)構(gòu)?

      • 通過導(dǎo)氣槽設(shè)計(jì)引導(dǎo)氣流,防止真空腔內(nèi)雜質(zhì)磨損轉(zhuǎn)軸及齒輪,提升密封性1

    2. ?真空檢漏裝置?

      • 結(jié)合氮?dú)庠磁c真空計(jì)檢測壓力回升值,通過算法精準(zhǔn)判斷工件泄漏,提高檢測效率2

    三、應(yīng)用領(lǐng)域

    • ?半導(dǎo)體制造?:刻蝕設(shè)備、等離子清洗設(shè)備真空排氣4

    • ?新能源?:鋰電池注液、電極干燥工藝4

    • ?工業(yè)設(shè)備?:真空熱處理爐、真空干燥系統(tǒng)


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